單晶爐的機械結構與維修研討(ppt 39頁)

單晶爐的機械結構與維修研討目錄：
一、設 備 簡 介
二、工藝過程
三、熔 料
四、引 晶
五、放 肩
六、等 晶
七、收 尾
八、TDR85A-ZJS全自動晶體生長爐
九、整體結構尺寸
十、接口尺寸
十一、晶體提升機構結構（主視）
十二、晶體提升腔拆裝及調整
十三、籽晶鋼纜的對中
十四、晶升離合器的調整
十五、晶體提升機構維護周期表
十六、坩堝提升機構
十七、坩堝提升機構拆裝及調整
十八、翻板閥的調整
十九、水平調整機構
二十、副室旋轉機構
二十一、氬氣分流係統
二十二、真空係統
二十三、冷卻水係統

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