重大產業化工程推進計劃項目申報指南(doc 13頁)

重大產業化工程推進計劃項目申報指南內容提要：
本計劃是以壯大新區高新技術產業、促進戰略性新興產業發展為目標，對在新區範圍內新投資企業和現有企業（增資增項）實施技術成果轉化並產業化的項目給予資金扶持的科技計劃類別。
關鍵技術、共性技術成果轉化專項是麵向金州新區高新技術產業和新興產業領域企業利用關鍵、共性技術創新成果實施產業化轉化的項目。
一、申報內容（課題）
我區高新技術產業和社會發展急需解決的關鍵技術、共性技術攻關項目資助。本計劃采取命題方式，具體課題如下：
（一）半導體關鍵設備與材料研發及產業化
1、領域：半導體照明
2、主要研究內容：藍寶石襯底的刻蝕技術；藍寶石襯底的產業化製備技術；LED外延用新型MO源、高純氨等LED外延生長用關鍵原材料製備技術。半導體關鍵設備研發技術。
3、考核指標：
（1）開發出適合於GaN基LED外延工藝的免處理襯底，達到同期國際先進水平，滿足外延工藝要求，月產能達到萬片以上。
（2）MO源用高純Ga、In等化合物純度，TEGa、TMAl、TMIn、Cp2Mg等MO源純度，超高純氨氣純度達到同期國內先進水平，滿足外延工藝要求。
（3）擁有自主知識產權。
（4）建立產業化生產線。
（5）本年新增投資不低於1000萬元。
4、項目實施期限：兩年
5、資助限額：200萬元
（二）大功率LED外延片、芯片研發及產業化
1、領域：半導體照明
2、主要研究內容：
（1）采用MOCVD設備生長高質量氮化镓p-n結構，通過對結構的設計提高LED外延片的光電轉換效率。
（2）開發擁有專利技術的大效率LED芯片。
3、考核指標：
（1）光電轉換效率達1101m/W以上。
（2）建立產業化生產線。
（3）本年新增投資不低於1000萬元，不低於5台MOCVD。
4、項目實施期限：兩年
5、資助限額：500萬元
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