幹膜曝光工藝(pdf 6)

幹膜曝光即在紫外光照射下，光引發劑吸收了光能分解成遊離基，遊離基再引發光聚合單體
進行聚合交聯反應，反應後形成不溶於稀堿溶液的體型大分子結構。曝光一般在自動雙麵曝
光機內進行，現在曝光機根據光源的冷卻方式不同，可分風冷和水冷式兩種，影響曝光成像
質量的因素除幹膜光致抗蝕劑的性能外，光源的選擇、曝光時間(曝光量) 的控製、照相底
版的質量等都是影響曝光成像質量的重要因素。
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