超淨工作台設備驗證方案介紹(doc 13頁)

超淨工作台設備驗證方案介紹目錄：
1、驗證方案的起草和審批
1.1、驗證方案的起草
1.2、驗證方案的審批
2、驗證小組人員名單
3、概述
4、驗證目的
5、驗證內容
5.1、安裝確認
5.1.1、資料檔案
5.1.2、設備材質
5.1.3、環境狀況
5.1.4、公用介質
5.2、運行確認
5.3、性能確認
6、事件進度表
7、再驗證
8、最終評價及驗證報告

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