微晶玻璃冰凍固結磨料拋光工藝研究(PDF 78頁）

第一章緒論??????．1
1．1：；J言??????．??????．??????1
1．2固結磨料拋光技術的研究現狀?????．2
1．2．1固結磨料拋光技術????????2
1．2．2冰凍固結磨料拋光技術研究現狀??4
1．3微晶玻璃的超精密拋光研究現狀?????5
1．4課題來源與研究目的及意義??????．．5
1．5本文研究的主要內容?6
第二章微晶玻璃脆塑轉變機理的研究????8
2．1 j；I言?．????????．8
2．2微晶玻璃綜述????8
2．2．1微晶玻璃的發展曆史和現狀????8
2．2．2硬盤基板用微晶玻璃的組成、結構與性質???????9
2．3不同溫度下微晶玻璃的脆塑轉變機理??12
2．3．1實驗裝置與方法????????．12
2．3．2結果分析與討論????????13
2．4本章小結?????15
第三章微納米Ce02顆粒的分散工藝研究???16
3．1引言16
3．2微納米粒子的分散技術????????16
3．2．1顆粒在液相中的分散及穩定???16
3．2．2顆粒的分散方法????????．17
3．2．3顆粒液相分散性能的評價方法??19
3．3微米級Ce02在水相介質中的分散性能研究????????。20
3．3．1實驗方法???．20
3．3．1．1實驗材料及儀器??????20
3．3．1．2微米Ce02沉澱物的測量??20
3．3．1．3 TagucIIi方法實驗設計???2l
3．3．2結果分析與討論????????．2l
3．3．2．1分散指標對粉體懸浮性能的影響???????。2l
3．3．2．2離差分析．24
3．4納米級Ce02在水相介質中的分散性能研究????????．24
3．4．1實驗方法??24
3．4．2結果分析與討論????????25
3．4．2．1不同pH值水相介質中納米Ce02的Zeta電位??25
3．4．2．2超聲時間對納米Ce02的分散性能的影響????26
3．4．2．3分散劑濃度對納米Ce02的分散性能的影響???27
3．5本章小結?????28
第四章低溫拋光設備及拋光工具的製備???30
4．1弓I言30
4．2低溫拋光設備及其改造30
4．2．1低溫拋光設備介紹???????30
4．2．2拋光設備的改造????????．3 l
4．3冰凍固結磨料拋光墊及工件承載器的製備32
4．3．1冰凍模具的設計?????。??．33
4．3．2冰凍固結磨料拋光墊的製備工藝??34
4．3．3工件承載器的製備???????36
4．4本章小結??????37
第五章冰凍固結磨料拋光微晶玻璃的工藝研究38
5．1引言????????。38
5．2冰凍固結磨料拋光微晶玻璃的工藝準備?38
5．2．1微晶玻璃的粘結工藝??????．38
5．2．2微晶玻璃的預加工???????．39
5．2．3冰凍拋光墊表麵的預處理????．40
5．2．4微晶玻璃拋光後的表麵處理???．40
5．2．5微晶玻璃表麵形貌的表征????4l
5．2．6材料去除率的測定???????4l
5．3微米級冰凍固結磨料拋光工藝研究???．42
5．3．1工藝參數對材料去除率的影響??．43
5．3．2工藝參數對表麵粗糙度的影響???44
5．4納米級冰凍固結磨料拋光工藝研究???46
5．4．1 Tagllchi法??．46
南京航空航天大學碩士學位論文
5．4．2拋光參數對材料去除率的影響??．47
5．4．3拋光參數對表麵粗糙度的影響??．49
5，4．4離差分析??．51
5．4．5綜合平衡法?。52
5．5本章小結?????53
第六章總結與展望??。54
6．1總結54
6．2展望55
參考文獻???????。56
翌|【謝??．63
在校期間的研究成果及發表的學術論文?。?．64
1．學術論文?????．“
2．申請的發明專利??．．“
3．主要參與的科研項目。“
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