工藝的發展及應用課程(PDF 7頁）

! 引言
為了能夠產生高深寬比的三維微結構! !"#$
年德國教授%&’()*+,- 等人首次提出了./01
技術" 2# ! 又稱為34)564./01$ 其後! 美國78
09:;+, 教授等人在以後的幾年裏研究並提出了使
用深紫外光代替同步3 射線的準./01 技術"<# 和
犧牲層=./01 技術">#$ 這使得基於./01 技術的
產品成本大大降低! 並使得製造免組裝可活動微
器件成為可能$ 為了將./01 技術更廣泛地應用到
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