拋光混床超純水係統及廢水回收係統設備方案書(DOC 37頁)

一、技術規範.....1
1、設計要求.....1
2、設計依據.....2
3、係統對外界要求.....2
4、工藝流程描述.....3
二、係統及設備技術要求.....4
1、各主體設備的技術要求.....4
1.1、預處理部分.....4
（1）原水儲槽.....4
（2）原水泵.....4
（3）石英砂過濾器.....4
（4）活性炭過濾器.....5
（5）過濾水儲槽.....7
（6）RO保安過濾器.....7
1.2、RO脫鹽部分.....7
（1）高壓泵.....7
（2）反滲透裝置.....8
1.3、EDI脫鹽部分.....10
（1）全自動電離子再生除鹽裝置.....10
1.4、精致過濾器部分.....10
（1）TOC脫除器.....10
（2）精致過濾器裝置.....10
（3）0.2μm微孔膜濾器.....10
（3）0.1μm微孔膜濾器.....11
1.5、回水部分.....11
（1）UV殺菌器.....11
1.6、廢水回收部分.....11
（1）廢水箱.....11
（2）UF進水.....11
（3）超濾裝置.....11
三、技術資料及工程質量.....11
1、技術文件資料.....11
2、設備監造檢查所需要的技術資料.....12
四、儀表與控製係統.....12
1、控製係統說明.....12
2、自動控製係統.....12
3、主要控製回路.....13
（1）預處理過濾器的控製.....13
（2）超濾係統的控製.....14
（3）阻垢劑加藥量控製.....14
（4）反滲透係統(RO)控製.....14
（5）高壓泵的保護係統.....14
（6）RO啟停保護.....14
（7）EDI電再生除鹽係統的控製.....14
（8）EDI係統啟停保護.....14
（9）拋光混床係統啟停保護.....15
（10）拋光混床係統的控製.....15
4、控製係統功能描述.....15
5、儀表.....15
五、主要設備參數.....16
1、預處理部分.....16
（1）原水箱.....16
（2）原水泵.....16
（3）石英砂過濾器.....16
（4）活性炭過濾器.....16
（5）過濾器反洗泵.....16
（6）過濾器水儲槽.....17
（7）一級反滲透增壓泵.....17
（8）加藥裝置.....17
（9）5μm保安過濾器.....18
2、RO脫鹽部分.....18
（1）1級高壓泵.....18
（2）1級RO反滲透主機.....18
（3）一級RO產水箱.....19
（4）2級進水泵.....19
（5）pH調節裝置.....19
（6）保安過濾器.....20
（7）2級高壓泵.....20
（8）2級RO反滲透主機.....20
（9）反滲透膜清洗裝置.....21
3、EDI脫鹽部分.....21
（1）EDI給水泵.....21
（2）EDI電再生裝置.....22
（3）純化水箱.....22
4、純水精致器部分.....22
（1）純水輸送泵（帶變頻器）.....22
（2）TOC脫碳器.....23
（3）一級精濾器裝置.....23
（4）二級精濾器裝置.....23
（5）0.2μm膜濾器.....23
（6）0.1μm膜濾器.....24
（7）UV殺菌器.....24
5、廢水回收部分.....24
（1）廢水收集箱.....24
（2）純水輸送泵.....24
（3）超濾裝置.....24
六、設備主要供貨清單.....25
七、設備供貨範圍.....29
1、設備範圍.....30
2、設備參數及技術要求（詳見設備配置清單）.....30
3、交貨期.....30
第八章 運行費用.....30
8.1設備功率.....30
8.2使用藥劑一覽表.....30
九、耗材一覽表.....31
..............................